School of Materials Science and Engineering Dalian University of Technology

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English Version
镀膜机
2015-01-13 10:59  

设备名称

溅射/蒸镀一体化镀膜机

设备型号

Q150T ES

制造厂商

英国Quorum

安放房间

材料馆129

负责人

史淑艳

  主要技术指标

高真空离子溅射/蒸镀一体化镀膜机;金钯;铂钯。

  测试功能

    1微处理器数字控制方式,可预设参数。145mm大触摸屏全图像用户界面。

2   2、全自动抽真空和全自动操作的高真空沉积镀膜系统。

3   3、工作腔室。硼硅酸盐玻璃150mm(内径)×127mm(高);具有安全防护罩。

4、样品台。直径50mmdrop-in落入式快换样品台。

5、挡板机构。距钯面8.5mm的自动挡版。

6、真空系统。50L/m旋转机械泵+70L/s涡轮分子泵,极限真空度为10-5mbar

7、真空规。皮拉尼真空规,测量范围1000mbar10-4mbar

8、溅射工作真空范围5×10-35×10-1mbar

9、溅射电流0-150mA

10、溅射时间。可以预设,一次真空条件下总溅射时间可设置长达60min

11、溅射靶材配有金钯和铂钯。

12、碳蒸发头。采用直流电源蒸发,配置直径3.05mm碳棒蒸发头。

1   13、蒸发电流1-90A

 

 

 

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