School of Materials Science and Engineering Dalian University of Technology

分享到:
12
English Version
共聚焦显微镜
2015-01-13 10:11  

设备名称

OLYMPUS激光共聚焦扫描显微镜

设备型号

OLS4000

制造厂商

日本奥林巴斯

安放房间

材料馆132

负责人

史淑艳

  主要技术指标

1、激光光源。半导体激光器 (λ= 405 nm )

2、物镜组。万能型配置          NA-数值孔径、WD-工作距离)

LMPLFLN100XNA=0.80WD=3.40 mm);MPLAPO100XLEXTNA=0.95WD=0.35mm

MPLAPO50XLEXTNA=0.95WD=0.35mm);MPLAPON20XLEXTNA=0.6WD=1.0mm

MPLFLN10XNA=0.30WD=11.mm);MPLFLN5XNA=0.15WD=20.0mm

3、探测系统。光电倍增管+200万像素摄像头。载物台。100×100mm超声波电动载物台。

4、显微观察方法。白光彩色明场观察、激光+DIC观察、可见光+DIC观察。

5、变倍。光学变倍1×~8×。图像存储。1024×1024,最大4096×4096

6、放大倍数。108-17280倍。Z轴运动。试样最大高度100mm;测量行程10mm

7、物镜转盘。6孔电动物镜转盘。

8、精度。测试精度:Z轴分辨率为10nmXY轴分辨率为120 nmXY轴测量重复性:3σ=0.02um

Z轴测量重复性:σ=0.012 um

9、防震装置。机身自带阻尼防震系统,消除振动对成像及测量的影响。

  测试功能

可获得高分辨的二维表面显微形貌;可观察样品表面亚μm程度(0.2μm)的三维形态和形貌;可测量多种

微小尺寸,如体积、面积、晶粒、膜厚、深度、长度、线粗糙度、面粗糙度等等。

 

 

关闭窗口